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Die AMO GmbH ist Ihr Partner im Bereich Nanofabrikation. Wir unterstützen Sie mit speziellen Forschungs- und Entwicklungsleistungen, über Prototypenfertigung bis hin zur Auftragsfertigung. Wir bieten die komplette Infrastruktur zur Nanofabrikation für Halbleitertechnologie- und verwandte Anwendungen.

Unsere Kompetenzen liegen im Bereich:

• Nanofabrikation,
• Nanoelektronik,
• Nanophotonik und
• Biotechnologie

AMO ist Ihr Pfadfinder zur Realisierung ihrer besonderen Anforderungen und begleitet Sie auf dem Weg von der Idee bis zur Produktion.

In vielen technischen Bereichen ermöglicht der Einsatz der Nanotechnologie entscheidende Verbesserungen der Produkteigenschaften. Die Mikroelektronik migriert zur Nanoelektronik und ermöglicht höchste Speicherdichten und Prozessorleistungen – langfristig bis zu Quantenbauelementen. Dank neuer Nanomaterialien und Herstellungsverfahren entwickelt sich die integrierte Optik zur Nanophotonik mit dem Potential der schnellen optischen Datenverarbeitung ”on Chip“ und der Reduzierung der Herstellungskosten. Nanostrukturen können heute in der Größenordnung von Biomolekülen hergestellt werden und eröffnen damit hochgenaue Analyseverfahren und die Kopplung der elektronischen mit der biologischen Welt. Der Schlüssel zur Erschließung des Nanokosmos ist die Herstellungstechnologie für kleinste Strukturen. Die Werkzeuge der AMO sind Elektronen, Photonen und kostengünstige Druckverfahren (Nanoimprint).

Reinraum

400qm

Großgeräte, Ausstattung

NanoCMOS Linie, Elektronenstrahllithographie, i-line Stepper Lithographie, UV-Nanoimprint Lithographie, Interferenzlithographie, Nanoanalytik

Internationale Vernetzung

IVAM, AENEAS, diverse Netzwerke

Forschungs-projekte

Industrie, BMBF, DFG, EU

Referenzen

AMD, Global Foundries, Infineon, Vistec, Süss MicroTec, EV Group, ST Microelectronics, Canberra, Micro Resist Technology, IMS-Chips, RWTH, VTT

USP

High-End Nanolektronik- und Silizium Photonik Technologie Plattform und Nanolithographie-Expertise

Weitere Informationen: