Die AMO GmbH ist Ihr Partner im Bereich Nanofabrikation. Wir unterstützen Sie mit speziellen Forschungs- und Entwicklungsleistungen, über Prototypenfertigung bis hin zur Auftragsfertigung. Wir bieten die komplette Infrastruktur zur Nanofabrication für Halbleitertechnologie- und verwandet Anwendungen.
Unsere Kompetenzen liegen im Bereich:
• Nanofabrikation,
• Nanoelektronik,
• Nanophotonik und
• Biotechnologie
AMO ist Ihr Pfadfinden zur Realisierung ihrer besonderen Anforderungen und begleitet Sie auf dem Weg von der Idee bis zur Produktion.
In vielen technischen Bereichen ermöglicht der Einsatz der Nanotechnologie entscheidende Verbesserungen der Produkteigenschaften. Die Mikroelektronik migriert zur Nanoelektronik und ermöglicht höchste Speicherdichten und Prozessorleistungen – langfristig bis zu Quantenbauelementen. Dank neuer Nanomaterialien und Herstellungsverfahren entwickelt sich die integrierte Optik zur Nanophotonik mit dem Potential der schnellen optischen Datenverarbeitung ”on Chip“ und der Reduzierung der Herstellungskosten. Nanostrukturen können heute in der Größenordnung von Biomolekülen hergestellt werden und eröffnen damit hochgenaue Analyseverfahren und die Kopplung der elektronischen mit der biologischen Welt. Der Schlüssel zur Erschließung des Nanokosmos ist die Herstellungstechnologie für kleinste Strukturen. Die Werkzeuge der AMO sind Elektronen, Photonen und kostengünstige Druckverfahren (Nanoimprint).
Reinraum | 400qm |
NanoCMOS Linie, Elektronenstrahllithographie, i-line Stepper Lithographie, UV-Nanoimprint Lithographie, Interferenzlithographie, Nanoanalytik | |
Internationale Vernetzung | IVAM, AENEAS, diverse Netzwerke |
Forschungs-projekte | Industrie, BMBF, DFG, EU |
Referenzen | AMD, Global Foundries, Infineon, Vistec, Süss MicroTec, EV Group, ST Microelectronics, Canberra, Micro Resist Technology, IMS-Chips, RWTH, VTT |
USP | High-End Nanolektronik- und Silizium Photonik Technologie Plattform und Nanolithographie-Expertise |

